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【国家标准】 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

本网站 发布时间： 2015-04-15
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适用范围：

本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 31227-2014

  • 标准名称：

    原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

  • 英文名称：

    Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2014-09-30

  • 实施日期：

    2015-04-15

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    17.040.20

  • 中标分类号：

    J04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    16 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰

  • 起草单位：

    上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

  • 归口单位：

    全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

  • 提出部门：

    中国科学院

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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