硅单晶切割片和研磨片

Monocrystalline silicon as cut wafers and lapped wafers

修订
介绍 国家标准计划《硅单晶切割片和研磨片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后8个月正式实施
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20151788-T-469
制修订:修订
项目周期: 36个月
下达日期:2015-08-18
标准类型:产品
中国标准分类号:29.045
国际标准分类号:H82
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江省硅材料质量检验中心
采标情况