纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

制定
介绍 国家标准计划《纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

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发布

基础信息 计划号:20204110-T-491
制修订:制定
项目周期: 36个月
下达日期:2020-11-19
标准类型:方法
中国标准分类号:07.030
国际标准分类号:A42
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位 中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院
采标情况