洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

制定
介绍 国家标准计划《洁净室及相关受控环境第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

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审查

批准

发布

基础信息 计划号:20211012-T-469
制修订:制定
项目周期: 12个月
下达日期:2021-04-30
标准类型:方法
中国标准分类号:13.040.35
国际标准分类号:C70
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位 深圳市丽风净化工程有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中电精泰电子工程有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、天津大学、中国电子工程设计院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、筑安检验检测中心有限公司、广东省洁净技术行业协会、上海市室内环境净化行业协会、中国合格评定国家认可中心、北京中邦兴业科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、江汉大学、河南盛川净化工程有限公司、南京工业大学、广东量化检测技术有限公司、安徽同益净化科技有限公司、深圳市朗奥洁净科技技术股份有限公司
采标情况 本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-13:2017
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁