Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method
介绍 | 国家标准计划《氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后3个月正式实施 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20202827-T-469 |
制修订:制定 | |
项目周期: 24个月 | |
下达日期:2020-08-07 | |
标准类型:方法 | |
中国标准分类号:77.040 | |
国际标准分类号:H17 | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
起草单位 | 新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司 |
采标情况 | |