真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement

制定
介绍 国家标准计划《真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国机械工业联合会。拟实施日期:发布即实施
项目进度

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基础信息 计划号:20201425-Z-604
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2020-04-01
标准类型:方法
中国标准分类号:23.160
国际标准分类号:J78
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国真空技术标准化技术委员会
起草单位 北京卫星环境工程研究所、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一0研究所、上海精密计量测试研究所、重庆云海机械制造有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
采标情况 本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TS 20175:2018
采标中文名称:真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性