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本标准规定了真空器件用锆铝合金粉、吸气用锆铝合金环件和片件、吸气用锆铝合金复合带材、释汞吸气用钛汞锆铝合金复合带材、室温吸气用锆石墨材料和制品等非蒸散型吸气材料及制品的吸气速率和吸气量的检测方法、检测结果的处理及试验报告。本标准适用于真空器件用锆铝合金粉、吸气用锆铝合金环件和片件、吸气用锆铝合金复合带材、释汞吸气用钛汞锆铝合金复合带材、室温吸气用锆石墨材料和制品等非蒸散型吸气材料及制品的吸气速率和吸气量的测定。
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本标准界定了吸气剂一般术语、分类术语及特性术语。本标准适用于真空器件用吸气剂。
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本标准规定了蒸散型钡吸气剂的要求、试验方法、检验规则及包装、标识、贮运。 本标准适用于显像管、显示器及其他电真空器件用掺气吸气剂和非掺气吸气剂。
本标准规定了蒸散型钡吸气剂载料和蒸散钡膜中钡量的测定方法、释汞吸气剂含汞量的测试方法、掺氮吸气剂载料中含氮量的测试方法、蒸散型吸气剂镍含量检测方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。
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本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。
本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度、吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。
1.1 本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2 本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。
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