本文件规定了制备具有稳定性和可比性的校准用混合气体1)的通用质量保证要求2)，确立了验证此类混合气体的组成在规定的测量不确定度范围内是否准确的程序，提供了如何在这些程序中进行不确定度评定的指导，描述了使用可溯源的标准混合气体来校准组成未知的校准用混合气体的方法，给出了校准用混合气体生产商使用的质量管理体系，还给出了这些差异3)对混合气体特性造成的影响的信息。

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本文件规定了在芯片键合过程中使用多个叠层集成电路之间初始校准和校准保持的要求。定义了校准标记和操作步骤。本文件只适用于使用电耦合方法进行的芯片间校准。

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本文件描述了用直接检验法和间接检验法检验巴氏硬度计（以下简称“硬度计”）的方法，规定了巴氏硬度计的分类、一般要求、直接检验法、间接检验法、检验周期和检验报告等要求。
本文件适用于巴氏硬度计的检验和校准，间接检验法还可独立地用于硬度计使用中的定期常规检验。

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本文件描述了颗粒数量浓度范围在1 cm-3~105 cm-3时校准凝结核颗粒计数器(CPC)检测效率的方法及其相关的测量不确定度。通常，检测效率将取决于颗粒数量浓度、粒度和成分。本文件中描述的校准方法所涵盖的粒度范围大约为5 nm~1 000 nm。
这些方法在较大粒度范围检测效率相对恒定(稳定效率)时可用于确定CPC校准因子，在较小粒度时可用于表征接近较低检测限时CPC检测效率的下限。更详细的参数见附录A。
本文件适用于进气流量在0.1 L/min~5 L/min的CPC的校准。
本文件描述了一种估算CPC校准过程中不确定度的方法。

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本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在：
——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性；
——明确校准程序及验收条件的最低要求；
——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）；
——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）；
——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度；
——规定报告结果的要求。

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本文件规定了使用临界流锐孔系统动态制备校准用混合气体的方法。校准用混合气体至少包括由纯气或预混合气体组成的两种气体（其中之一通常为补充气）。
本文件规定的方法主要适用于制备不与临界流锐孔系统或辅助设备中的气体管路材质发生反应的混合气体。使用合适数量的临界流锐孔时，可制备多组分混合气体。
选用合适的临界流锐孔组合，稀释比可达到1×104。
尽管本文件规定的方法通常应用于制备大气压条件下的混合气体， 但本文件规定的方法也能用于制备压力超过大气压的校准用混合气体。使用本文件规定的方法，上游气体压力需至少比下游气体压力高两倍。
本文件适用的流量范围为1 mL/min～10 L/min。

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本文件提出的《测量不确定度表示指南》（以下简称GUM）概念实施指南，适用于工业界对GPS领域内的测量标准和测量设备的校准以及工件GPS特性的测量。其目的是提供完成不确定度报告所需的全部信息，并为测得结果及其不确定度的比较（顾客与供方之间的关系）提供依据。
本文件的目的是支撑ISO 14253-1。本文件与ISO 14253-1均有利于公司内部所有技术职能部门对GPS规范（即工件特性的公差和测量设备计量特性的最大允许误差MPEs值）的解释。
本文件介绍的不确定度管理程序（Procedure for Uncertainty M Anagement—PUMA），是一个以GUM为基础，在不改变GUM基本概念的情况下评估测量不确定度的实用迭代程序。一般在下述情况用于评估测量不确定度和提供不确定度说明：
——单个测得结果；
——两个或多个测得结果的比较；
——将一个（或多个）工件或一个（或多个）测量设备得到的测得结果与给定规范（也就是测量仪器或测量标准的计量特性最大允许误差MPEs，或工件特性的公差限等）进行比较，按规范验证是否合格。
迭代法总体而言是建立在上限评估策略基础上的，即在不确定度评估的各阶段高估其不确定度，迭代次数控制高估的量。为防止基于测得结果做出的错误判定，有意识的高估而不是低估是必要的。高估的量还受测量项目的经济评估限制。
迭代法在公司的计量活动中是实现利益最大化和成本最小化的一种方法。迭代法既是一个在经济上进行自我调节的方法，也是一个为降低计量（制造）中的成本而改变或减小测量中现有不确定度的方法。迭代法使不确定度评估和不确定度概算中的风险、工作量和成本之间的协调成为可能。

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GB/T 5275（所有部分)规定了多种动态法制备校准用混合气体的方法。本文件为GB/T 5275的第2部分，本文件规定了使用活塞泵连续产生校准用混合气体的方法。通过几何测量的方法进行活塞泵的校准，可得到所制备的校准用混合气体的组成及其不确定度。由纯气体或混合气体，通过使用气体混合泵可制备得到含有两种或两种以上组分的校准用混合气体。该气体混合泵由至少两个活塞泵组成，每个活塞泵均有确定的冲程比和合适的进气及混匀装置。本文件仅适用于气态混合物或可完全气化的组分组成的混合物。当气体组分不相互反应，也不与活塞泵内壁发生吸附或反应时，本文件也适用于以腐蚀性气体作为原料气的情况。本文件还适用于以混合气体作为原料气的情况。同时，多组分混合气体的制备和多步稀释制备过程可认为是双组分混合物制备的特殊情况，其制备也可采用本文件规定的方法。使用本文件规定的方法制备得到的校准用混合气体的组分用体积分数的形式表示，附录A给出了体积分数与物质的量分数数据换算方程及相关不确定度评定。当采取了充分的质量保证措施和测量控制手段时，使用该方法制备的混合气体体积分数的相对扩展不确定度能达到不超过0.5%（包含因子k=2)的水平。附录B和附录D给出了相对扩展不确定度更小的一些特殊情况的计算实例。使用本文件规定的方法，能实现1∶10 000的稀释比。通过多级稀释或使用混合气体进行稀释，能获得更低的体积分数（可低至1×10-8)。最终产生的混合气体的流量范围能达到5 L/h~500 L/h。

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本文件规定了拉力和（或）压力试验机的校准与检验方法。检验包括：--试验机（包含施加力的附件）的一般检查；--试验机测力系统的校准。--确认试验机的性能参数达到的级别。本文件适用于拉力和（或）压力试验机测力系统的校准与检验。

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本文件规定了医学校准实验室运行参考测量程序的能力要求。本文件以GB/T 27025-2019的要求为规范性参考，列出了校准实验室充分执行任务的附加要求。本文件与GB/T 27025-2019条款的关系总结于附录A中。本文件不包括以名义标度或序数标度报告结果的特性的测量。本文件不适用于医学实验室。注： ISO 15189规定了医学实验室的要求。

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本文件规定了一种机器可读的生物特征识别的融合信息格式。
本文件适用于描述在融合过程中输入的比对得分的统计信息。
本文件不适用于以下内容：
——比对得分归一化过程的标准化；
——融合过程的标准化或定义。

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本文件规定了在线液体自动颗粒计数系统的校准和验证方法。本文件适用于以下用途：--用于液体自动颗粒计数器校准悬浮液制备设备的验证；--进行液体自动颗粒计数器的在线校准；--两台及两台以上在线液体自动颗粒计数器的匹配，例如，对两台关联在线液体自动颗粒计数器在给定尺寸下的颗粒进行计数；--对带稀释或不带稀释的在线颗粒计数系统进行验证，例如，测定GB/T 18853规定的过滤器多次通过试验中液压过滤器的过滤效率。

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本文件规定了按照GB/T 230.1测定洛氏硬度的洛氏硬度计的两种检验方法（直接检验和间接检验），并规定了洛氏硬度压头的检验方法。直接检验法适用于检测与硬度计功能相关的主要参数是否在规定的允差以内，例如试验力、深度测量、试验循环时间。间接检验法适用于使用一组经过标定的标准硬度块判定硬度计在测量已知硬度材料时的性能。

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本文件规定了按照GB/T 21838.1-2019进行仪器化压入试验用的试验机的检验和校准方法。本文件描述了检查试验机主要功能的直接检验法和适用于测定试验机重复性的间接检验法。除直接检验法外，间接检验法也用于使用中的试验机例行的周期检验。对于每种试验方法应单独对试验机进行间接检验。本文件也适用于便携式试验机。

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本文件规定了按GB/T 17394.1对里氏硬度计（以下简称硬度计）进行直接检验和间接检验的方法。直接检验适用于检查硬度计的性能参数是否在规定的范围内。间接检验是使用根据GB/T 17394.3校准的标准里氏硬度块的硬度值，检查硬度计在重力方向上的整体性能。间接检验可独立应用于使用中硬度计的定期常规检查。本文件适用于带有D、S、E、D＋15、DL、C和G型冲击装置的硬度计。

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