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本文件描述了非接触涡流法测试半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的方法。
本文件适用于测试直径或边长不小于25.0 mm、厚度为0.1 mm~1.0 mm的硅、导电型砷化镓、导电型碳化硅单晶片的电阻率,以及衬底上制备的电阻不小于薄膜电阻1 000倍的薄膜薄层的电阻。单晶片电阻率的测试范围为0.001 Ω·cm~200 Ω·cm,薄膜薄层电阻的测试范围为2.0×103 Ω/□~3.0×103 Ω/□。本方法也可以扩展到其他半导体材料中,但不适用于晶片径向电阻率变化的判定。

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GB/T 37152-2018 纳米技术 碳纳米管材料 薄层电阻 现行 发布日期 :  2018-12-28 实施日期 :  2018-12-28

本标准规定了碳纳米管薄层电阻检测的标准方法,以便于使用者结合其自身应用情况作出恰当选择。本标准目的在于评估经同一生产程序制造的不同批次的产品,其最终产品电导率的一致性控制。针对每项应用,应建立起根据规定方法测得的参数与相关产品性能参数之间的关系。本标准包括下列内容:a)〓本文件所用术语的定义;b)〓样品的制备建议;c)〓测量碳纳米管薄层电阻的实验程序概要;d)〓结果分析与数据讨论;e)〓实例分析;f)〓参考文献。

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GB/T 4499-2016 硫化橡胶 防老剂的测定 薄层色谱法 现行 发布日期 :  2016-10-13 实施日期 :  2017-05-01

本标准规定了用薄层色谱对硫化橡胶中防老剂进行测定的方法。本标准适用于测定硫化橡胶或混炼橡胶中的防老剂(醛胺类、酮胺类、仲胺类、对苯二胺类、双酚类、多元酚类以及磷酸酯类)。

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GB/T 6029-2016 硫化橡胶 促进剂的测定 薄层色谱法 现行 发布日期 :  2016-10-13 实施日期 :  2017-05-01

本标准规定了使用薄层色谱测定硫化橡胶中促进剂的方法。本标准适用于硫化橡胶和混炼胶中促进剂(噻唑类、次磺酰胺类、秋兰姆类、二硫代氨基甲酸盐类和胍类)及其部分转化物的测定。

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GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法 现行 发布日期 :  2014-09-30 实施日期 :  2015-04-15

本标准给出了使用连续变波长、变角度的光谱型椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法。
本标准适用于测试硅基底上厚度均匀、各向同性、10 nm~1 000 nm厚的二氧化硅薄层厚度,其他对测试波长处不透光的基底上单层介电薄膜样品厚度测量可以参考此方法。

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GB/T 18294.2-2010 火灾技术鉴定方法 第2部分:薄层色谱法 现行 发布日期 :  2011-01-14 实施日期 :  2011-06-01

GB/T 18294的本部分规定了火灾技术鉴定中薄层色谱法的术语和定义、试验原理、试验仪器、试剂和材料、标准试样及试验方法。
本部分适用于汽油、煤油、柴油和油漆稀释剂等火场常见易燃液体及其燃烧残留物的鉴定。

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本标准规定了化妆品中41种糖皮质激素的液相色谱/串联质谱方法和薄层层析方法二种测定方法。〖JP〗
本标准液相色谱/串联质谱测定方法适用于化妆品中糖皮质激素的定量测定,其检出限为0.03 μg/g,定量限为0.1 μg/g。
本标准薄层层析方法适用于化妆品中糖皮质激素的定性筛选。点样量为10 mg时,其检出限为50 μg/g;点样量为20 mg时,其检出限可达25 μg/g。

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本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。
本标准适用于测量直径大于15.9 mm的由外延、扩散、离子注入到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层,方块电阻的测量范围为10 Ω~5 000 Ω。该方法也可适用于更高或更低阻值方块电阻的测量,但其测量精确度尚未评估。

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GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法 被代替 发布日期 :  2009-10-30 实施日期 :  2010-06-01

本标准规定了用非接触涡流测定半导体硅片电阻率和薄膜薄层电阻的方法。
本标准适用于测量直径或边长大于25 mm、厚度为0.1 mm~1 mm的硅单晶切割片、研磨片和抛光片(简称硅片)的电阻率及硅薄膜的薄层电阻。测量薄膜薄层电阻时,衬底的有效薄层电阻至少应为薄膜薄层电阻的1 000倍。
硅片电阻率和薄膜薄层电阻测量范围分别为1.0×10-3 Ω·cm~2×102 Ω·cm和2×103 Ω/□~3×103 Ω/□。

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GB/T 8381-2008 饲料中黄曲霉毒素B1的测定 半定量薄层色谱法 废止 发布日期 :  2008-11-21 实施日期 :  2009-02-01

本标准规定了饲料中黄曲霉毒素B1的两种测定方法,并只能用于半定量测定。
本标准中的方法A适用于油籽和油籽粕、花生、椰子仁、亚麻仁、大豆、棕榈仁、木薯淀粉、玉米粕、谷类和谷类制品、豌豆粉、土豆渣和土豆粉等单一饲料产品。当使用方法A测定上述某个单一饲料受干扰时,建议使用方法B。
本标准中的方法B适用于配合饲料以及上述未提及的单一饲料。本方法不适用于含柑橘渣的饲料。

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