【团体标准】基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

本网站发布时间： 2023-11-06

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标准简介

本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

标准号：
T/CSTM 00313-2021
标准名称：
基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
英文名称：
Testing method of optical constants for 0ptical thin films based on spectro-photo-metric method
标准状态：
现行
发布日期：
2021-10-18
实施日期：
2022-01-18
出版语种：

【团体标准】 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法