锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法

Standard method for showing and measuring dislocation etch pits in indium antimonide single crystal

修订
介绍 国家标准计划《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委
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基础信息 计划号:20252259-T-469
制修订:修订
项目周期: 16个月
下达日期:2025-07-01
标准类型:方法
中国标准分类号:29.045
国际标准分类号:
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 中国电子科技集团公司第十一研究所、中国电子技术标准化研究院、中航凯迈红外科技有限公司
采标情况