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Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtered depth
| 介绍 | 国家标准计划《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院 |
| 项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
| 基础信息 | 计划号：20253642-T-491 |
| 制修订：修订 | |
| 项目周期： 12个月 | |
| 下达日期：2025-08-06 | |
| 标准类型：方法 | |
| 中国标准分类号：71.040.40 | |
| 国际标准分类号： | |
| 组织起草部门：国家标准化管理委员会 | |
| 技术委员会：全国表面化学分析标准化技术委员会 | |
| 起草单位 | 中山大学 |
| 采标情况 | 本标准等同采用ISO国际标准：ISO TR 15969-2021 |
| 采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 |
