X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告-Evaluation of thickness, density and interface width of thin film by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting-中国标准在线服务网

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin film by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

修订

介绍	国家标准计划《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20253671-T-491
	制修订：修订
	项目周期： 12个月
	下达日期：2025-08-06
	标准类型：方法
	中国标准分类号：71.040.40
	国际标准分类号：
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国表面化学分析标准化技术委员会
起草单位	中国计量科学研究院
采标情况	本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413: 2020
采标情况	采标中文名称:X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告