Vacuum technology—Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
介绍 | 国家标准计划《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国机械工业联合会 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20253958-T-604 |
制修订:修订 | |
项目周期: 16个月 | |
下达日期:2025-08-06 | |
标准类型:方法 | |
中国标准分类号:23.160 | |
国际标准分类号: | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国真空技术标准化技术委员会 | |
起草单位 | 北京中科科仪股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司 |
采标情况 | |