真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology—Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

修订
介绍 国家标准计划《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》由TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国机械工业联合会
项目进度

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发布

基础信息 计划号:20253958-T-604
制修订:修订
项目周期: 16个月
下达日期:2025-08-06
标准类型:方法
中国标准分类号:23.160
国际标准分类号:
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国真空技术标准化技术委员会
起草单位 北京中科科仪股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
采标情况