表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定-Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser-中国标准在线服务网

表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定

Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed by the analyser

修订

介绍	国家标准计划《表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20253762-T-491
	制修订：修订
	项目周期： 12个月
	下达日期：2025-08-06
	标准类型：方法
	中国标准分类号：71.040.40
	国际标准分类号：
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国表面化学分析标准化技术委员会
起草单位	厦门爱劳德光电有限公司、清华大学、中国科学院化学研究所
采标情况	本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR19319:2013(E)
采标情况	采标中文名称:表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定

表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定

表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定