氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

制定
介绍 国家标准计划《氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后10个月正式实施
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20173544-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2018-01-09
标准类型:方法
中国标准分类号:77.040
国际标准分类号:H17
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
采标情况