Silicon epitaxial wafers
介绍 | 国家标准计划《硅外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后10个月正式实施 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20162492-T-469 |
制修订:修订 | |
项目周期: 24个月 | |
下达日期:2016-12-28 | |
标准类型:产品 | |
中国标准分类号:29.045 | |
国际标准分类号:H82 | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
起草单位 | 浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司 |
采标情况 | |