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提示：
Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment
| 介绍 | 国家标准计划《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后6个月正式实施 |
| 项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
| 基础信息 | 计划号：20153730-T-469 |
| 制修订：制定 | |
| 项目周期： 24个月 | |
| 下达日期：2016-01-04 | |
| 标准类型：基础 | |
| 中国标准分类号：31.260 | |
| 国际标准分类号：L97 | |
| 组织起草部门：国家标准化管理委员会 | |
| 技术委员会：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
| 起草单位 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司 |
| 采标情况 | |
