洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用-Cleanrooms and associated controlled environments – Part 17: Particle deposition rate applications-中国标准在线服务网

介绍	国家标准计划《洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后6个月正式实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20220341-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 12个月
	下达日期：2022-07-19
	标准类型：方法
	中国标准分类号：13.040.35
	国际标准分类号：C70
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
起草单位	中国工程物理研究院激光聚变研究中心、苏州安泰空气技术有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中国标准化协会、上海尚远建设工程有限公司、中国电子工程设计院股份有限公司、中国科学院大气物理研究所、烟台宝源净化有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、广州保瑞医疗技术有限公司、谱尼测试集团股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、仲恺农业工程学院、科锐特（厦门）净化科技有限公司、杭州捷瑞智能装备股份有限公司、惠特科学技术有限公司、朗恒科技集团有限公司、新拓洋生物工程有限公司
采标情况	本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-17:2021
采标情况	采标中文名称:洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用

洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用

洁净室及相关受控环境第17部分：粒子沉积速率应用