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提示：
Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings
| 介绍 | 国家标准计划《纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。拟实施日期：发布后6个月正式实施 |
| 项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
| 基础信息 | 计划号：20214735-Z-491 |
| 制修订：制定 | |
| 项目周期： 18个月 | |
| 下达日期：2021-12-31 | |
| 标准类型：方法 | |
| 中国标准分类号：07.120 | |
| 国际标准分类号：L04 | |
| 组织起草部门：国家标准化管理委员会 | |
| 技术委员会：全国纳米技术标准化技术委员会 | |
| 起草单位 | 中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维（广东）光电科技有限公司 |
| 采标情况 | 本标准等同采用IEC国际标准：IEC TS 62622:2012 |
| 采标中文名称:纳米技术 人造光栅的描述，测量和尺寸质量参数 |
