Polished monocrystalline silicon carbide wafers
介绍 | 国家标准计划《碳化硅单晶抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20110061-T-469 |
制修订:制定 | |
项目周期: 24个月 | |
下达日期:2011-10-13 | |
标准类型:产品 | |
中国标准分类号:29.045 | |
国际标准分类号:H83 | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
起草单位 | 北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所 |
采标情况 | |