半导体生产设施电磁兼容性要求

Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility

制定
介绍 国家标准计划《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20100112-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2010-12-17
标准类型:基础
中国标准分类号:
国际标准分类号:L95
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司
采标情况