用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy

制定
介绍 国家标准计划《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20081144-T-469
制修订:制定
项目周期: 36个月
下达日期:2008-11-03
标准类型:方法
中国标准分类号:29.045
国际标准分类号:H80
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司
采标情况 本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104
采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程