Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
介绍 | 国家标准计划《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20081144-T-469 |
制修订:制定 | |
项目周期: 36个月 | |
下达日期:2008-11-03 | |
标准类型:方法 | |
中国标准分类号:29.045 | |
国际标准分类号:H80 | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
起草单位 | 四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司 |
采标情况 | 本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104 |
采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 |