微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法-Micro-electromechanical systems technology - Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application-中国标准在线服务网

介绍	国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布即实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20221873-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 16个月
	下达日期：2022-12-30
	标准类型：方法
	中国标准分类号：31.080.99
	国际标准分类号：L59
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位	昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司
采标情况	本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020
采标情况	采标中文名称:半导体器件微机电器件第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法