微机电系统（MEMS）技术层状MEMS材料界面黏附能的四点弯曲试验方法-Micro-electromechanical systems technology - Four-point bending test method for interfacial adhesion energy of layered MEMS materials-中国标准在线服务网

介绍	国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术层状MEMS材料界面黏附能的四点弯曲试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布即实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20221872-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 16个月
	下达日期：2022-12-30
	标准类型：方法
	中国标准分类号：31.080.99
	国际标准分类号：L59
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位	北京自动化控制设备研究所、合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、北京晨晶电子有限公司、山东中康国创先进印染技术研究院有限公司、苏州大学、西安交通大学、中国科学院空天信息创新研究院、深圳市速腾聚创科技有限公司、华润上华科技有限公司、安徽奥飞声学科技有限公司、北京遥测技术研究所、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第三十八研究所、山东中科思尔科技有限公司
采标情况	本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-31:2019
采标情况	采标中文名称:半导体器件微机电器件第31部分：层状MEMS材料界面结合能的四点弯曲试验方法