微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法-Micro-electromechanical systems technology - Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films-中国标准在线服务网

介绍	国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布即实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20221868-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 16个月
	下达日期：2022-12-30
	标准类型：方法
	中国标准分类号：31.080.99
	国际标准分类号：L59
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位	中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、芯联集成电路制造股份有限公司、中关村光电产业协会、中国电子科技集团公司第三十八研究所、上海交通大学
采标情况	本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-17:2015
采标情况	采标中文名称:半导体器件微机电器件第17部分：薄膜机械性能的打压试验方法