半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing

制定
介绍 国家标准计划《半导体器件微电子机械器件第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片》由339-1(工业和信息化部(电子))归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。拟实施日期:发布即实施
项目进度

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批准

发布

基础信息 计划号:20204111-T-339
制修订:制定
项目周期: 12个月
下达日期:2020-11-19
标准类型:产品
中国标准分类号:31.200
国际标准分类号:L40
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:工业和信息化部(电子)
起草单位 河北美泰电子科技有限公司、中国电科产业基础研究院
采标情况 本标准等同采用IEC国际标准:IEC62047-3:2006
采标中文名称:半导体器件 微电子机械器件 第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片