电子级正硅酸乙酯

Electronic grade ethyl orthosilicate

制定
介绍 国家标准计划《电子级正硅酸乙酯》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20204090-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2020-11-19
标准类型:方法
中国标准分类号:31.030
国际标准分类号:L90
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司
采标情况