表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

制定
介绍 国家标准计划《表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

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基础信息 计划号:20213226-T-469
制修订:制定
项目周期: 18个月
下达日期:2021-08-24
标准类型:方法
中国标准分类号:71.040.40
国际标准分类号:G04
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位 中山大学、广东工业大学、暨南大学
采标情况 本标准等同采用ISO国际标准:ISO 13083:2015
采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准