纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法-Nanotechnologies- Characterization of micro surface & sub surface by optical dark-field confocal microscopy-中国标准在线服务网

Nanotechnologies- Characterization of micro surface & sub surface by optical dark-field confocal microscopy

制定

介绍	国家标准计划《纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。拟实施日期：发布后6个月正式实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20212948-T-491
	制修订：制定
	项目周期： 30个月
	下达日期：2021-08-24
	标准类型：方法
	中国标准分类号：17.040.30
	国际标准分类号：N51
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位	哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心
采标情况
采标情况