半导体器件 栅介质层的时间相关介电击穿(TDDB)试验

Semiconductor devices - Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films

制定
介绍 国家标准计划《半导体器件栅介质层的时间相关介电击穿(TDDB)试验》由TC78(全国半导体器件标准化技术委员会)归口,主管部门为工业和信息化部(电子)。拟实施日期:发布后3个月正式实施
项目进度

起草

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审查

批准

发布

基础信息 计划号:20213173-T-339
制修订:制定
项目周期: 18个月
下达日期:2021-08-24
标准类型:方法
中国标准分类号:31.080.01
国际标准分类号:L55
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体器件标准化技术委员会
起草单位 工业和信息化部电子第五研究所、吉林华微电子股份有限公司、安徽长麦智能科技有限公司、中国科学院半导体研究所、广东汇芯半导体有限公司、贵州振华风光半导体股份有限公司、河北北芯半导体科技有限公司、东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、深圳市森美协尔科技有限公司
采标情况 本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62374:2007
采标中文名称:半导体器件 栅介质层的时间相关(电)介质击穿(TDDB)试验