表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems

制定
介绍 国家标准计划《表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

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基础信息 计划号:20210878-T-469
制修订:制定
项目周期: 18个月
下达日期:2021-04-30
标准类型:方法
中国标准分类号:71.040.40
国际标准分类号:G04
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国微束分析标准化技术委员会
起草单位 中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
采标情况 本标准等同采用ISO国际标准:ISO 11952:2019
采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准