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提示：
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
| 介绍 | 国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后3个月正式实施 |
| 项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
| 基础信息 | 计划号：20204975-T-469 |
| 制修订：制定 | |
| 项目周期： 18个月 | |
| 下达日期：2020-12-24 | |
| 标准类型：基础 | |
| 中国标准分类号：31.080.99 | |
| 国际标准分类号：L59 | |
| 组织起草部门：国家标准化管理委员会 | |
| 技术委员会：全国微机电技术标准化技术委员会 | |
| 起草单位 | 苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司 |
| 采标情况 | 本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-26:2016 |
| 采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法 |
