硅片表面光泽度的测试方法

Test method for gloss of silicon wafer

制定
介绍 国家标准计划《硅片表面光泽度的测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20204891-T-469
制修订:制定
项目周期: 24个月
下达日期:2020-12-24
标准类型:方法
中国标准分类号:77.040
国际标准分类号:H21
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、天津中环领先材料技术有限公司、山东有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、广东金湾高景太阳能科技有限公司、浙江旭盛电子有限公司、巢湖学院、金瑞泓科技(衢州)有限公司
采标情况