Electronic specialty gas—Nitric oxide
介绍 | 国家标准计划《电子特气一氧化氮》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期:发布后6个月正式实施 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20204890-T-469 |
制修订:制定 | |
项目周期: 24个月 | |
下达日期:2020-12-24 | |
标准类型:产品 | |
中国标准分类号:71.100.20 | |
国际标准分类号:G86 | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | |
起草单位 | 大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、湖北京瑞气体有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司 |
采标情况 | |