微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS-中国标准在线服务网

Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

制定

介绍	国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。拟实施日期：发布后3个月正式实施
项目进度	起草征求意见审查批准发布
基础信息	计划号：20204974-T-469
	制修订：制定
	项目周期： 24个月
	下达日期：2020-12-24
	标准类型：方法
	中国标准分类号：31.200
	国际标准分类号：L59
	组织起草部门：国家标准化管理委员会
	技术委员会：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位	北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、宁波芯健半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司
采标情况
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