半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

The coctivation analysis method for the determinatian of elemental impurities in semiconductor silicon materials

修订
介绍 国家标准计划《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会
项目进度

起草

征求意见

审查

批准

发布

基础信息 计划号:20031804-T-610
制修订:修订
项目周期:
下达日期:
标准类型:方法
中国标准分类号:
国际标准分类号:
组织起草部门:国家标准化管理委员会
技术委员会:中国有色金属工业协会
起草单位 国家有色金属及电子材料分析测试中心(北京有色金属研究总院)
采标情况