The coctivation analysis method for the determinatian of elemental impurities in semiconductor silicon materials
介绍 | 国家标准计划《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会 |
项目进度 |
起草 征求意见 审查 批准 发布 |
基础信息 | 计划号:20031804-T-610 |
制修订:修订 | |
项目周期: | |
下达日期: | |
标准类型:方法 | |
中国标准分类号: | |
国际标准分类号: | |
组织起草部门:国家标准化管理委员会 | |
技术委员会:中国有色金属工业协会 | |
起草单位 | 国家有色金属及电子材料分析测试中心(北京有色金属研究总院) |
采标情况 | |