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GB/T 43493.2-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法
即将实施
发布日期 :
2023-12-28
实施日期 :
2024-07-01
GB/T 43493.3-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法
即将实施
发布日期 :
2023-12-28
实施日期 :
2024-07-01
GB/T 29056-2012
硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
现行
发布日期 :
2012-12-31
实施日期 :
2013-10-01
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