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GB/T 20724-2021 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法 现行 发布日期 :  2021-12-31 实施日期 :  2022-07-01

本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注: 由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀,用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

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GB/T 20724-2006 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法 被代替 发布日期 :  2006-12-25 实施日期 :  2007-08-01

本标准规定了用透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10-9 m~0.1×10-3 m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度。

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GB/T 17722-1999 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法 现行 发布日期 :  1999-04-11 实施日期 :  1999-12-01

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本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

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