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GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 现行 发布日期 :  2014-12-31 实施日期 :  2015-09-01

本标准规定了掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算关系,该换算关系也适用于掺锑硅单晶,还可扩展至硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

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GB/T 14847-2010 掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 现行 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

本标准规定重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。
本标准适用于衬底在23 ℃电阻率小于0.02 Ω·cm和外延层在23 ℃电阻率大于0.1 Ω·cm且外延层厚度大于2 μm的n型和p型硅外延层厚度的测量;在降低精度情况下,该方法原则上也适用于测试0.5 μm~2 μm之间的n型和p型外延层厚度。

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GB/T 17170-1997 掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法 被代替 发布日期 :  1997-12-22 实施日期 :  1998-08-01

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GB/T 14847-1993 掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 被代替 发布日期 :  1993-12-24 实施日期 :  1994-09-01

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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 被代替 发布日期 :  1992-02-19 实施日期 :  1992-10-01

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