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本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定,方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104 Ω。

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DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范 现行 发布日期 :  2014-04-18 实施日期 :  2014-07-18

本标准规定了用于制备LED的蓝宝石图形化衬底片的测试技术规范,包括蓝宝石图形化衬底片的图形结构、表面质量、图形一致性的测试要求和测试方法。 本标准适用于制备半导体照明器件的氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。

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