【国家标准】氮化镓外延片及衬底片通用规范

本网站发布时间： 2019-07-01

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标准简介

本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。

标准号：
GB/T 37053-2018
标准名称：
氮化镓外延片及衬底片通用规范
英文名称：
General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
标准状态：
现行
发布日期：
2018-12-28
实施日期：
2019-07-01
出版语种：
中文简体

起草人：
丁晓民刘南柳潘尧波徐科修向前孙永健王香张国义
起草单位：
东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 氮化镓外延片及衬底片通用规范