- 您的位置:
- 中国标准在线服务网 >>
- 全部标准分类 >>
- 国家标准 >>
- H80 >>
- GB/T 24582-2009 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质
![](/images/icon_detail_title.png)
【国家标准】 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质
本网站 发布时间:
2024-03-01
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!  
查看详情>>
![标准简介](/images/icon_detail_info.png)
文前页下载
适用范围:
1.1 本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质,并用电感耦合等离子质谱仪定量检测多晶硅表面上的金属杂质痕量分析方法。
1.2 本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、钾、钙、铁、镍、铜、锌以及其他元素如铝的检测。
1.3 本标准适用于各种棒、块、粒、片状多晶表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则,面积很难准确测定,故根据样品重量计算结果,使用的样品重量为50 g~300 g,检测限为0.01 ng/mL。
1.4 酸的浓度、组成、温度和浸取时间决定着表面腐蚀深度和表面污染物的浸取效率。在这个实验方法中腐蚀掉的样品重量小于样品重量的1%。
1.5 本标准适用于重量为25 g~5 000 g的样品的测定,为了达到仲裁的目的,该实验方法规定样品的重量为约300 g。
1.2 本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、钾、钙、铁、镍、铜、锌以及其他元素如铝的检测。
1.3 本标准适用于各种棒、块、粒、片状多晶表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则,面积很难准确测定,故根据样品重量计算结果,使用的样品重量为50 g~300 g,检测限为0.01 ng/mL。
1.4 酸的浓度、组成、温度和浸取时间决定着表面腐蚀深度和表面污染物的浸取效率。在这个实验方法中腐蚀掉的样品重量小于样品重量的1%。
1.5 本标准适用于重量为25 g~5 000 g的样品的测定,为了达到仲裁的目的,该实验方法规定样品的重量为约300 g。
标准号:
GB/T 24582-2009
标准名称:
酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质
英文名称:
Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry标准状态:
被代替-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-06-01 出版语种:
中文简体
- 推荐标准
- 国家标准计划
- GB/T 14264-2024 半导体材料术语
- GB/T 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱
- GB/T 29057-2023 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
- GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范
- GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
- GB/T 14844-2018 半导体材料牌号表示方法
- GB/T 8756-2018 锗晶体缺陷图谱
- GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
- GB/T 35316-2017 蓝宝石晶体缺陷图谱
- GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范
- GB/T 32279-2015 硅片订货单格式输入规范
- GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
- GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
- GB/T 14863-2013 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法
- GB/T 30110-2013 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法