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【国家标准】 半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关
本网站 发布时间:
2023-09-01
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标准简介
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适用范围:
本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号,描述了参数测试方法。本文件适用于各种类型的射频MEMS开关,射频MEMS开关的一般说明见附录A。按接触方式分类,包括直流触点型开关和电容触点型开关;按结构分类,包括串联开关和并联开关,射频MEMS开关的几何结构说明见附录B;按开关网络分类,包括单刀单掷开关、单刀双掷开关和双刀双掷开关等;按驱动方式分类,包括静电驱动开关、热电驱动开关、电磁驱动开关和压电驱动开关等。射频MEMS开关在多频带或多模式移动电话、智能雷达系统、可重构射频器件和系统、SDR(软件无线电)电话、测试设备、可调谐器件和系统、卫星等方面应用广泛,射频MEMS开关的应用说明见附录E。
标准号:
GB/T 42709.5-2023
标准名称:
半导体器件 微电子机械器件 第5部分:射频MEMS开关
英文名称:
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5:RF MEMS switches标准状态:
现行-
发布日期:
2023-05-23 -
实施日期:
2023-09-01 出版语种:
中文简体
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