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- GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
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适用范围:
1.1 本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。1.2 本标准描述了热解吸气相色谱仪(TD-GC)以及有关样品制备和分析的相关程序。
标准号:
GB/T 24577-2009
标准名称:
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
英文名称:
Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography标准状态:
现行-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-06-01 出版语种:
中文简体
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