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- GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
【国家标准】 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
本网站 发布时间:
2022-07-01
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标准简介
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适用范围:
本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析,测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3,元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。
标准号:
GB/T 41153-2021
标准名称:
碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
英文名称:
Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry标准状态:
现行-
发布日期:
2021-12-31 -
实施日期:
2022-07-01 出版语种:
中文简体
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