【国家标准】玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量　触针式轮廓仪法

本网站发布时间： 2017-12-01

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标准简介

本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。

标准号：
GB/T 33826-2017
标准名称：
玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量　触针式轮廓仪法
英文名称：
Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
标准状态：
现行
发布日期：
2017-05-31
实施日期：
2017-12-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法