【国家标准】磷化铟多晶

本网站发布时间： 2019-06-03

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标准简介

本标准规定了磷化铟多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。

起草人：
范家骅邢志国杨桂芳刘文兵李素青王阳李晓岚孙聂枫刘惠生赵有文惠峰朱刘刘永豪
起草单位：
南京金美镓业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 磷化铟多晶