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【国家标准】 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

本网站 发布时间： 2015-09-01
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适用范围：

本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片)翘曲度的测试方法。
本标准适用于直径50.8 mm～304.8 mm，厚度为不小于200 μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 31352-2014

  • 标准名称：

    蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

  • 英文名称：

    Test methods for warp of sapphire substrates

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2014-12-31

  • 实施日期：

    2015-09-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040.99

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    13 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    薛抗美 魏明德 黄修康 杭寅 夏根平 肖宗杰

  • 起草单位：

    江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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