【团体标准】半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

本网站发布时间： 2024-02-19

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。

标准号：
T/NXCL 28-2024
标准名称：
半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
英文名称：
Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth
标准状态：
现行
发布日期：
2024-02-06
实施日期：
2024-02-06
出版语种：

【团体标准】 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚